Tuotteiden esittely

Miksi Ta10W-levyllä on niin korkea käyttöarvo?

Se johtuu siitä, että sen koostumussuunnittelu ja edistynyt valmistusprosessi eivät vain säilytä yksittäisten metallien edut, vaan myös saavuttavat suorituskyvyn läpimurtoja seosten avulla.

Koostumuksen suhteen tämän tuotteen tantaalipitoisuus on suurempi tai yhtä suuri kuin 89,5%, ja volframipitoisuus on tiukasti valvottu välillä 9,5-10,5%. Materiaalin lujuus korkeissa lämpötiloissa ja kovuus paranevat merkittävästi kiinteän liuoksen vahvistusmekanismin ansiosta. Samanaikaisesti epäpuhtauksien, kuten hapen (pienempi tai yhtä suuri kuin 0,03 %), hiilen (pienempi tai yhtä suuri kuin 0,02 %), typen (vähemmän tai yhtä suuri kuin 0,01 %) pitoisuutta valvotaan tiukasti, jotta vältetään epäpuhtaudet vaikuttamasta haitallisesti puolijohdelaitteiden suorituskykyyn.

Teknisesti tyhjökaarisulatustekniikkaa käytetään kaasun epäpuhtauksien poistamiseen, ja monikerroksisella tarkkuusvalssauksella varmistetaan levyn paksuuden tasaisuus. Lopuksi rakeet jalostetaan tyhjiöhehkutuskäsittelyllä, jossa yhdistyvät korkea lujuus ja hyvä muovin sitkeys. Venymä voi olla yli 20 %, eikä se ole altis hauraalle murtumiselle.

Keskeisen suorituskyvyn kannalta Ta10W-levyllä on monia etuja: korkean lämpötilan stabiilisuuden kannalta sulamispiste on jopa 3020 astetta ja se voi silti säilyttää rakenteellisen vakauden korkeassa-1600 asteen lämpötilassa. Sillä on erinomainen virumisenkestävyys ja se kestää pitkään-korkean lämpötilan prosessikuormituksia puolijohteiden valmistuksessa. Mitä tulee korroosionkestävyyteen, se sietää hyvin syövyttäviä aineita, kuten suolahappoa, typpihappoa, aqua regiaa ja orgaanisia happoja, jotka ovat yleisiä puolijohdeprosesseissa; Käsittelysuorituskyvyn kannalta sillä on hyvä kylmätyöstökyky ja pinnan karheus on säädetty arvoon Ra 0,8 μm. Seuraavat täyttävät puolijohdelaitteiden tarkkuuskokoonpanovaatimukset. Lisäksi sen suuri tiheys (16,6–16,8 g/cm³) antaa sille erinomaiset säteilysuojaominaisuudet, ja sen alhaiset neutronien absorptio-ominaisuudet antavat sille myös ainutlaatuisia etuja puolijohde-ionien istutusprosessissa.

Tuotteen kuvaus

tuotteen nimi	Ta10w tantaalilevy
tiheys	16,6-16,8 g/cm³
sulamispiste	3000-3080 astetta
pituus	50 ~ 3000 mm, räätälöity
leveys	50 ~ 800 mm, räätälöity
paksuus	0,5 ~ 20 mm, räätälöity
paksuustoleranssi	±0,05 mm
vetolujuus	Suurempi tai yhtä suuri kuin 550 MPa
myötöraja	Suurempi tai yhtä suuri kuin 379 MPa
venymä	suurempi tai yhtä suuri kuin 20 %

Tuotteet Sovellus

Kattavien suorituskykyetujensa ansiosta Ta10W-levyillä on laajat ja keskeiset sovellukset puolijohdeteollisuudessa, ja ne kattavat useita ydinlinkkejä kiekkojen valmistuksesta laitepakkaukseen:

Sputtering kohdekenttä

Puolijohdeohutkalvopinnoituksen ydinmateriaalina Ta10W-levyt voidaan työstää pyöreiksi (halkaisija 20–400 mm) tai neliömäisiksi (leveys 10–1000 mm) sputterointikohteiksi, joita käytetään avainkalvojen, kuten sulkukerrosten ja elektrodikerrosten valmistukseen puolijohdelaitteissa. Sen korkea-tiheysominaisuudet takaavat riittävän atomikineettisen energian sputterointiprosessin aikana, ja muodostunut kalvo on tiheä ja -virheetön; sen erinomainen sähkö- ja lämmönjohtavuus varmistaa sputterointiprosessin vakauden ja vähentää kohteen ylikuumenemisen ja halkeilun riskiä; Sen korkea puhtaus ja alhainen epäpuhtauspitoisuus välttävät kalvon kontaminaatiota, parantavat puolijohdelaitteiden sähköistä suorituskykyä ja luotettavuutta, ja niitä käytetään laajalti logiikkasirujen, muistisirujen, tehopuolijohteiden ja muiden tuotteiden valmistuksessa.

Korkean lämpötilan prosessikomponentit

Prosesseissa, kuten ioni-implantaatiossa ja puolijohdekiekkojen korkeassa lämpötilassa{0}}hehkutuksessa, Ta10W-levyjä käytetään upokkaiden, veneiden, lämmityselementtien kiinnikkeiden ja muiden komponenttien valmistukseen. Se voi silti säilyttää rakenteellisen vakauden äärimmäisen korkeissa-lämpötiloissa, yli 3000 astetta, eikä pehmene tai muutu korkeiden lämpötilojen vuoksi. Sillä on myös vahva korroosionkestävyys, eivätkä erilaiset syövyttävät kaasut ja kemialliset reagenssit kuluta sitä, mikä parantaa kiekkojen käsittelyn tuottonopeutta. Lisäksi sen alhainen lämpölaajenemiskerroin mahdollistaa komponenttien mittojen pysymisen toistuvissa korkean ja matalan lämpötilan jaksoissa, mikä pidentää komponenttien käyttöikää.

Tyhjiö- ja syövyttävät ympäristökomponentit

Puolijohteiden valmistus tapahtuu enimmäkseen korkeassa tyhjiössä ja erittäin syövyttävissä ympäristöissä. Ta10W-levyjä voidaan käyttää avainkomponenttien, kuten tyhjiökammion vuorausten, putkien, venttiilien ja tiivisteiden valmistukseen. Sen erinomainen tyhjiön yhteensopivuus ja ilmatiiviys voivat tehokkaasti ylläpitää korkeaa tyhjiötä prosessiympäristössä; Sen kyky kestää syövyttäviä aineita, kuten kloorivetyhappoa, typpihappoa ja aqua regiaa, tekee siitä välttämättömän prosessilaitteissa, kuten märkäsyövytyksessä ja -puhdistuksessa. Se voi korvata perinteiset korroosiota{4}}kestävät materiaalit ja vähentää laitteiden ylläpitokustannuksia ja seisokkien riskejä.